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 Preparation of multicomponent thin films by magnetron co-sputtering method: The Cu-Ti case study 磁控共溅射制备多组分薄膜——以Cu-Ti为例
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期刊：Vacuum 作者：B. Adamiak; A. Wiatrowski; J. Domaradzki; Danuta Kaczmarek; Damian Wojcieszak; et al 出版日期：2019-01-11 |
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