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标题
Atomic Layer Etching of MoS2 using cyclic Argon and CF4 plasmas in deposition regime at cryogenic temperatures
网址
http://dx.doi.org/10.2139/ssrn.6963079
DOI
10.2139/ssrn.6963079 doi
其它 期刊：Elsevier BV
作者：Madjid Adjabi; Christophe Cardinaud; Aurélien Canizares; Thomas Tillocher; Remi Dussart; et al
出版日期：2026-01-01
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sefsfw 在 2026-07-01 13:01:20 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 8天前，求助关闭

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  • 13天前

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  • 13天前

    sefsfw sefsfw Lv5 求助人 发起了本次求助

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