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标题
Characterization of thin Al2O3/SiO2 dielectric stack for CMOS transistors
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793172...
DOI
10.1016/j.mee.2022.111708 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Yiyi Yan; Valeriya Kilchytska; Bin Wang; Sébastien Faniel; Yun Zeng; et al
出版日期：2022-01-06
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顺心雪卉 在 2026-09-02 11:47:21 发布，悬赏 10 积分
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