Investigation on silica particle cleaning mechanism of surfactants for amorphous carbon post-CMP cleaning

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标题	Investigation on silica particle cleaning mechanism of surfactants for amorphous carbon post-CMP cleaning
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S246802302...
DOI	10.1016/j.surfin.2026.110148 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Minha Kim; Ziyang Wang; Jinhyoung Lee; Hyeonjeong Lee; Yinhao An; et al 出版日期：2026-07-16
求助人	聪慧恶天在 2026-08-25 11:09:30 发布自浙江，悬赏 10 积分
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