Fabrication of wafer-scale nanoporous AlGaN-based deep ultraviolet distributed Bragg reflectors via one-step selective wet etching

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标题	Fabrication of wafer-scale nanoporous AlGaN-based deep ultraviolet distributed Bragg reflectors via one-step selective wet etching
网址	https://www.nature.com/articles/s41598-022-25712-2.pdf
DOI	10.1038/s41598-022-25712-2 doi
其它	期刊：Scientific Reports 作者：Yongming Zhao; Maocheng Shan; Zhi-Hua Zheng; Pengcheng Jian; Wei-jie Liu; et al 出版日期：2022-12-27
求助人	木子在 2026-09-16 19:54:59 发布自陕西，悬赏 10 积分
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