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标题
High-sensitivity and low-volume-based piezoelectric MEMS acceleration sensor using PiezoMUMPs
基于压电MEMS的高灵敏度小体积压电MEMS加速度传感器
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网址
https://doi.org/10.1007/s10854-023-11528-x
DOI
10.1007/s10854-023-11528-x doi
其它 期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics
作者：Priyabrata Biswal; Mithlesh Kumar; Sougata Kumar Kar; Banibrata Mukherjee
出版日期：2023-11-01
求助人
Masanao 在 2025-12-14 22:27:14 发布自北京，悬赏 10 积分
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