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 Modeling and Analysis of SiC Capacitive Pressure Sensors Based on FEA Postprocessing With Infinitesimal Approach 基于有限元后处理的SiC电容式压力传感器建模与分析
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Chengyi Liu; Jiangfeng Du; Limei Rong; Qi Yu 出版日期：2022-04-04 |
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