Nondestructive analysis of interface damage and stress in Al-ion implanted 4H-SiC homoepitaxial wafers via micro-Raman and multiscale simulation

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标题	Nondestructive analysis of interface damage and stress in Al-ion implanted 4H-SiC homoepitaxial wafers via micro-Raman and multiscale simulation
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.164204 doi
其它	期刊：Applications of Surface Science 作者：Zhoudong Yang; Yuanhui Zuo; Xinyue Wang; Hong Zhou; Hongyu Tang; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	能干的寒烟在 2026-09-23 20:54:43 发布自山东，悬赏 10 积分
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