Optimization of cleaning process parameters to remove abrasive particles in post-Cu CMP cleaning

待确认

文献求助详情

标题	Optimization of cleaning process parameters to remove abrasive particles in post-Cu CMP cleaning
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1674-4926/39/12/126002
DOI	10.1088/1674-4926/39/12/126002 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Liu Yang; Baimei Tan; Yuling Liu; Baohong Gao; Chunyu Han 出版日期：2018-12-01
求助人	难过的小土豆在 2026-10-07 15:59:08 发布自福建，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

American Society of Clinical Oncology (ASCO)

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
1小时前

科研通AI6.2 机器人Lv12 上传了文件

待审核 126002.pdf (1.17 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
1小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:59:12 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:59:08 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献

15:59:08 已向机器人发送请求
1小时前

难过的小土豆 Lv3 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: leon发布了新的文献求助10

刚刚; zhhhhh完成签到，获得积分10

刚刚; 陈大宝完成签到，获得积分20

刚刚; guangzhui的应助被yan采纳，获得10

1秒前; 打打的应助被苗条的成败采纳，获得30

2秒前; Ava的应助被哈温采纳，获得10

3秒前; 朴素渊思发布了新的文献求助10

3秒前; 安详的灰狼上传了应助文件

3秒前; 陈大宝发布了新的文献求助10

3秒前; Hear发布了新的文献求助10

3秒前; 顾矜上传了应助文件

4秒前; 华仔的应助被犹豫的大碗采纳，获得10

5秒前; CipherSage上传了应助文件

5秒前; lbc完成签到，获得积分20

5秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

5秒前; 隐形草丛完成签到，获得积分10

5秒前; jvan发布了新的文献求助30

5秒前; 852的应助被卞卞采纳，获得10

6秒前; Wuin完成签到，获得积分10

7秒前; 天天快乐的应助被lxz采纳，获得10

7秒前; 英姑的应助被lgf采纳，获得10

8秒前; SciGPT的应助被hyf采纳，获得10

8秒前; 深情安青上传了应助文件

8秒前; 大力发布了新的文献求助10

9秒前; 科研通AI6.4的应助被摸鱼帝王采纳，获得10

9秒前; Hello的应助被老实觅松采纳，获得10

10秒前; 朴素渊思发布了新的文献求助200

10秒前; leon完成签到，获得积分10

12秒前; 英姑上传了应助文件

12秒前; 英勇的梨愁发布了新的文献求助10

13秒前; 小任同学要努力发布了新的文献求助10

14秒前; Hello的应助被zht采纳，获得10

14秒前; Ava上传了应助文件

14秒前; wanci上传了应助文件

14秒前; Ava的应助被dq采纳，获得10

15秒前; 不安的鸡翅完成签到，获得积分10

15秒前; 万能图书馆上传了应助文件

16秒前; 爆米花上传了应助文件

16秒前; 852上传了应助文件

16秒前; 书山有路勤为径完成签到，获得积分10

16秒前