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 Focusing electrode effect on the EUV lighting technology based on C-beam irradiation technique 聚焦电极对基于C束照射技术的极紫外照明技术的影响
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Iksu Kim; Umesh Balaso Apugade; Seoungjun OH; Kyu Chang Park 出版日期：2025-03-01 |
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