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标题
Fabrication of sub-20 nm patterns using dopamine chemistry in self-aligned double patterning
在自对准双图案化中使用多巴胺化学制备亚20nm图案
相关领域
制作 纳米技术 多巴胺 涂层 材料科学 化学 生物 神经科学 医学 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.1039/c8nr04040k
DOI
10.1039/c8nr04040k doi
其它 期刊：Nanoscale
作者：Yinyong Li; Jae-Won Choi; Zhiwei Sun; Thomas P. Russell; Kenneth R. Carter
出版日期：2018-01-01
求助人
ky 在 2025-12-29 16:21:28 发布自陕西，悬赏 10 积分
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