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 Approach to reducing oversaturated boron content in plate poly layer of DRAM 降低DRAM片状多晶硅层过饱和硼含量的方法
相关领域
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材料科学
硼
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Dong-Sik Park; Joonsuk Park; Hana Cho; Hyeon-Woo Jang; Seunghwa Shin; et al 出版日期：2025-05-22 |
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