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 Towards modeling of ZrO2 atomic layer deposition at reactor scale based on experimental kinetic approximation 基于实验动力学近似的反应器尺度ZrO2原子层沉积模拟
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原子层沉积
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锆
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化学
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生物
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期刊：Applied Surface Science 作者：Nhat-Minh Phung; Minh‐Tan Ha; Si‐Young Bae; Soonil Lee; Tae Joo Park; et al 出版日期：2023-11-04 |
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