发布文献求助
清晨好，您是今天最早来到科研通的研友！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您科研之路漫漫前行！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Towards modeling of ZrO2 atomic layer deposition at reactor scale based on experimental kinetic approximation
基于实验动力学近似的反应器尺度ZrO2原子层沉积模拟
相关领域
位阻效应 原子层沉积 吸附 锆 动能 沉积（地质） 化学 环戊二烯基络合物 基质（水族馆） 活化能 原子单位 物理化学 化学工程 计算化学 图层（电子） 化学物理 材料科学 无机化学 有机化学 催化作用 古生物学 物理 海洋学 量子力学 沉积物 工程类 生物 地质学
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158840
DOI
10.1016/j.apsusc.2023.158840 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Nhat-Minh Phung; Minh‐Tan Ha; Si‐Young Bae; Soonil Lee; Tae Joo Park; et al
出版日期：2023-11-04
求助人
莫石榴 在 2025-08-04 18:47:59 发布，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Atomic-scale simulation of ALD chemistry
  2. Probing the Atomic-Scale Structure of Amorphous Aluminum Oxide Grown by Atomic Layer Deposition
  3. Material manufacturing from atomic layer
  4. Atomic-scale engineering of advanced catalytic and energy materials via atomic layer deposition for ...
  5. Atomic-scale engineering of metal–oxide interfaces for advanced catalysis using atomic layer deposi...
  6. Methyl Displacements from Cyclopentadienyl Ring Planes in Sterically Crowded (C5Me5)3M Complexes
  7. Reactions of bis(cyclopentadienyl)zirconium dichloride with porous silica surface
  8. The synthesis and structure of silica-supported bis(h5-cyclopentadienyl)dichlorotitanium(IV) complex...
  9. Models for ALD and MOCVD Growthof Rare Earth Oxides
  10. Mono-substituted cyclopentadienyl half-sandwich transition metal complexes: ligand orientational eff...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    科研通AI2S 科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 043108_1_6.0004648.pdf (7.96 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 10小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    18:48:05 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    18:48:01 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    18:47:59 已向机器人发送请求

  • 10小时前

    莫石榴 莫石榴 Lv2 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
量子星尘发布了新的文献求助10
17秒前
26秒前
子悦完成签到 ，获得积分10
27秒前
不动的大电视机完成签到，获得积分10
42秒前
雪山飞龙发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
haralee完成签到 ，获得积分10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
ddd发布了新的文献求助10
2分钟前
4466完成签到，获得积分10
2分钟前
CodeCraft的应助被ddd采纳，获得10
2分钟前
紫熊完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
3分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
3分钟前
小静完成签到 ，获得积分10
3分钟前
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
方白秋完成签到，获得积分10
4分钟前
糟糕的翅膀完成签到，获得积分10
4分钟前
希望天下0贩的0的应助被GYM采纳，获得10
4分钟前
4分钟前
4分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
5分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
5分钟前
5分钟前
GYM发布了新的文献求助10
5分钟前
花园里的蒜完成签到 ，获得积分0
5分钟前
雪山飞龙发布了新的文献求助30
6分钟前
wwe完成签到，获得积分10
6分钟前
6分钟前
ddd发布了新的文献求助10
6分钟前
大个的应助被ddd采纳，获得30
6分钟前
雪山飞龙发布了新的文献求助10
6分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
7分钟前
HCT完成签到，获得积分10
7分钟前
7分钟前
高分求助中
(禁止应助)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Semantics for Latin: An Introduction 1099
Biology of the Indian Stingless Bee: Tetragonula iridipennis Smith 1000
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 740
2024-2030年中国石英材料行业市场竞争现状及未来趋势研判报告 500
镇江南郊八公洞林区鸟类生态位研究 500
Thermal Quadrupoles: Solving the Heat Equation through Integral Transforms 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4143176
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3679356
关于积分的说明 11627857
捐赠科研通 3372644
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1852447
邀请新用户注册赠送积分活动 915187
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 829702
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通