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 Layout simulation for directed self-assembly with chemo-epitaxy methodology 化学外延法定向自组装的版图模拟
相关领域
外延
计算机科学
材料科学
纳米技术
图层（电子）
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期刊： 作者：Shibing Wang; Yixiao Zhang; Jiechang Hou; Yuansheng Ma; Daman Khaira; et al 出版日期：2024-04-09 |
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