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 Extreme ultraviolet phase defect characterization based on complex amplitudes of the aerial images 基于航空图像复振幅的极紫外相位缺陷表征
相关领域
振幅
极端紫外线
极紫外光刻
光学
相（物质）
摄影术
最大值和最小值
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物理
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数学
量子力学
数学分析
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期刊：Applied Optics 作者：Wei Cheng; Sikun Li; Xiangzhao Wang; Zinan Zhang 出版日期：2021-05-17 |
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