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![]() 用于DRAM位接触的化学气相沉积Si:P外延生长
相关领域
德拉姆
外延
位(键)
化学气相沉积
材料科学
光电子学
计算机科学
纳米技术
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期刊: 作者:Protyush Sahu; Jay S. Brown; Silvia Borsari; Jeff Hull 出版日期:2025-01-16 |
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