Deep ensemble neural network-driven modeling of etching process in advanced integrated circuit manufacturing

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标题	Deep ensemble neural network-driven modeling of etching process in advanced integrated circuit manufacturing
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0005540
DOI	10.1116/6.0005540 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Hongli Song; Yuxuan Zhai; Ziyi Hu; Dashan Shang; Junjie Li; et al 出版日期：2026-07-27
求助人	大胆的涵柏在 2026-07-30 11:32:07 发布自四川，悬赏 10 积分
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