Modeling of plasma processing reactors: review and perspective

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标题	Modeling of plasma processing reactors: review and perspective 等离子体处理反应器的建模：回顾与展望相关领域等离子体等离子体处理等离子体参数半导体器件制造分布函数材料科学纳米技术计算物理学物理热力学量子力学薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.22.4.041503
DOI	10.1117/1.jmm.22.4.041503 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Shahid Rauf; Kallol Bera; Jason Kenney; Prashanth Kothnur 出版日期：2023-11-22
求助人	合适夏天在 2024-01-18 14:39:05 发布自北京，悬赏 10 积分
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