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 Young’s modulus measurement of a silicon nitride thin-film using an ultrasonically actuated microcantilever 相关领域
材料科学
薄膜
氮化硅
复合材料
弹性模量
杨氏模量
模数
悬臂梁
硅
纳米压痕
基质（水族馆）
光电子学
残余应力
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期刊：Measurement 作者：Yun Kim 出版日期：2017-10-14 |
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