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Comparison of single Shockley-type stacking fault expansion rates in 4H-SiC under ultraviolet illumination after hydrogen or fluorine ion implantation 氢或氟离子注入后紫外光照射下4H-SiC单肖克利型层错膨胀率的比较
相关领域
氟
紫外线
堆积
材料科学
氢
离子
离子注入
叠加断层
光电子学
复合材料
化学
冶金
位错
有机化学
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Johji Nishio; Chiharu Ota; Ryosuke Iijima 出版日期:2024-10-01 |
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