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标题
Is it possible to dynamical monitoring the products of silane conversion in plasma with non-local characteristics using probe diagnostics?
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ae3f51
DOI
10.1088/1361-6595/ae3f51 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Chen Zhou; Hanbai Wang; Almaz Saifutdinov; Aliia Saifutdinova; Jingfeng Yao; et al
出版日期：2026
求助人
fisher 在 2026-02-23 21:02:00 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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