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 Silicon carbide nano-via arrays fabricated by double-sided metal-assisted photochemical etching 双面金属辅助光化学刻蚀制备碳化硅纳米通孔阵列
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
碳化硅
半导体
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工程类
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期刊：Materials Today Communications 作者：Yun Chen; Zijian Li; Dachuang Shi; Shankun Dong; Xin Chen; et al 出版日期：2023-01-30 |
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