Silicon carbide nano-via arrays fabricated by double-sided metal-assisted photochemical etching

材料科学 蚀刻(微加工) 碳化硅 半导体 碳化物 光电子学 各向同性腐蚀 金属 纳米- 纳米技术 带隙 图层(电子) 化学工程 复合材料 冶金 工程类
作者
Yun Chen,Zijian Li,Dachuang Shi,Shankun Dong,Xin Chen,Jian Gao
出处
期刊:Materials today communications [Elsevier BV]
卷期号:35: 105519-105519 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.mtcomm.2023.105519
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
wdq完成签到,获得积分10
刚刚
刚刚
嘟嘟巴拉巴拉完成签到,获得积分20
刚刚
1秒前
Somnolence咩发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
1秒前
zeng完成签到,获得积分10
1秒前
青鱼完成签到,获得积分10
1秒前
wangDx发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
生动的八宝粥完成签到,获得积分10
2秒前
Lucas应助积极钢笔采纳,获得10
2秒前
Orange应助zhaowenxian采纳,获得10
2秒前
2秒前
英吉利25发布了新的文献求助10
2秒前
SciGPT应助包容沛蓝采纳,获得10
3秒前
3秒前
城北徐公发布了新的文献求助10
3秒前
卡皮巴拉发布了新的文献求助10
3秒前
清风梦秋发布了新的文献求助10
4秒前
l131599发布了新的文献求助10
4秒前
EkkoCat完成签到,获得积分10
4秒前
4秒前
苗苗043发布了新的文献求助10
5秒前
独特思卉发布了新的文献求助30
5秒前
5秒前
ssssss发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
5秒前
5秒前
6秒前
PhD_Lee73发布了新的文献求助20
6秒前
欣慰以柳完成签到,获得积分10
6秒前
呆萌致远发布了新的文献求助20
7秒前
JeKing发布了新的文献求助10
7秒前
csl完成签到,获得积分10
7秒前
8秒前
长期素食发布了新的文献求助10
8秒前
斯文败类应助菜菜求带采纳,获得10
8秒前
高分求助中
APA handbook of comparative psychology: Basic concepts, methods, neural substrate, and behavior 1000
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
Römisch-Germanische Forschungen 500
Electric machines: theory, operating applications, and controls 500
The Analytical and Numerical Solution of Electric and Magnetic Fields 500
When Is Two-Stage Sample Robust Optimization Asymptotically Optimal? 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7601340
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9177723
关于积分的说明 19652508
捐赠科研通 7177224
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3268838
关于科研通互助平台的介绍 2433125
邀请新用户注册赠送积分活动 2262497