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标题
Preparation and Investigation of Optoelectronic Properties of Polarity-Controllable Titanium Oxide Thin Films Using High-Power Impulse Magnetron Sputtering
高功率脉冲磁控溅射制备极性可控氧化钛薄膜及其光电性能研究
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 溅射沉积 光电子学 钛 薄膜 氧化钛 溅射 腔磁控管 极性（国际关系） 氧化物 脉冲（物理） 纳米技术 冶金 化学工程 遗传学 物理 量子力学 生物 细胞 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.11.459
DOI
10.1016/j.ceramint.2024.11.459 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：S.‐C. Hsu; Chao-Kuang Wen; Sheng‐Chi Chen; Yuqi Lu; Li‐Hsien Yeh; et al
出版日期：2024-11-01
求助人
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