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 Preparation and Investigation of Optoelectronic Properties of Polarity-Controllable Titanium Oxide Thin Films Using High-Power Impulse Magnetron Sputtering 高功率脉冲磁控溅射制备极性可控氧化钛薄膜及其光电性能研究
相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
溅射沉积
光电子学
钛
薄膜
氧化钛
溅射
腔磁控管
极性（国际关系）
氧化物
脉冲（物理）
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期刊：Ceramics International 作者：S.‐C. Hsu; Chao-Kuang Wen; Sheng‐Chi Chen; Yuqi Lu; Li‐Hsien Yeh; et al 出版日期：2024-11-01 |
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