Reliability improvement of IGZO‐TFT in hybrid process with LTPS

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标题	Reliability improvement of IGZO‐TFT in hybrid process with LTPS LTPS混合工艺中IGZO-TFT的可靠性改进相关领域薄膜晶体管背板材料科学可靠性（半导体）光电子学晶体管逆变器电气工程 AMOLED公司图层（电子）功率（物理）纳米技术有源矩阵工程类电压物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1002/jsid.1032
DOI	10.1002/jsid.1032 doi
其它	期刊：Journal of The Society for Information Display 作者：Mehadi Aman; Yujiro Takeda; Kazuatsu Ito; Kaoru Yamamoto; Kohei Tanaka; et al 出版日期：2021-05-01
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