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 A High-sensitivity Optical MEMS Accelerometer based on SOI Double-side Micromachining 基于SOI双面微加工的高灵敏度光学MEMS加速度计
相关领域
加速度计
验证质量
微电子机械系统
绝缘体上的硅
表面微加工
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加速度
光电子学
光学
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期刊：IEEE Sensors 作者：Ziqiang Qu; Huafeng Liu; H. Daniel Ou‐Yang; Chenyuan Hu; Liangcheng Tu 出版日期：2020-10-25 |
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