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 Metalorganic chemical vapor deposition in situ etching of β-Ga2O3 and β-(AlxGa1−x)2O3 相关领域
化学气相沉积
材料科学
原位
蚀刻（微加工）
金属有机气相外延
沉积（地质）
燃烧化学气相沉积
各向同性腐蚀
干法蚀刻
纳米光刻
纳米技术
混合物理化学气相沉积
化学工程
薄膜
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化学
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Lingyu Meng; Vijay Gopal Thirupakuzi Vangipuram; Dong Su Yu; Chenxi Hu; Hongping Zhao 出版日期：2025-07-28 |
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