Subsurface damage pattern and formation mechanism of monocrystalline β-Ga2O3 in grinding process

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标题	Subsurface damage pattern and formation mechanism of monocrystalline β-Ga2O3 in grinding process
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11465-022-067...
DOI	10.1007/s11465-022-0677-3 doi
其它	期刊：Frontiers of Mechanical Engineering 作者：Xin Yang; Renke Kang; Shang Gao; Zihe Wu; Xianglong Zhu 出版日期：2022-06-11
求助人	Dalinn 在 2026-05-20 18:14:03 发布自北京，悬赏 10 积分
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