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 Cryogenic etching device based on the conductive cooling method using liquid nitrogen bath 相关领域
液氮
材料科学
蚀刻（微加工）
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Kil-Byoung Chai; Eun-Beom Choi; Hyo-Chang Lee; Woongsub Song 出版日期：2026 |
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