Atomic layer deposition of GaN at low temperatures

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标题	Atomic layer deposition of GaN at low temperatures
网址	http://avs.scitation.org/doi/pdf/10.1116/1.3664102
DOI	10.1116/1.3664102 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Cagla Ozgit; Inci Donmez; Mustafa Alevli; Necmi Biyikli 出版日期：2011-12-02
求助人	WZ 在 2026-03-17 16:31:52 发布自福建，悬赏 10 积分
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