Free 3D shaping with grey-tone lithography and multidose e-beam writing

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标题	Free 3D shaping with grey-tone lithography and multidose e-beam writing
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793179...
DOI	10.1016/s0167-9317(98)00107-5 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：M. Kalus; M. Frey; L.-M. Buchmann; K. Reimer; B. Wagner 出版日期：2002-07-26
求助人	魁梧的灵寒在 2026-08-24 21:04:15 发布自福建，悬赏 10 积分
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American Phytopathological Society (APS)

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