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The Influence of Cleaning Parameters in High-Density Argon Plasma on the Morphology and Surface Properties of Monocrystalline Silicon Substrates |
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| DOI |
10.35596/1729-7648-2026-24-3-44-51
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期刊:Doklady BGUIR 作者:K. Logunov; A. Mikholap 出版日期:2026-06-29 |
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(2025-6-4)