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[高分]
 High-NA EUVL exposure tool: key advantages and program status 相关领域
极紫外光刻
镜头（地质）
数值孔径
计算机科学
极端紫外线
钥匙（锁）
光圈（计算机存储器）
覆盖
扫描仪
吞吐量
光学（聚焦）
光学
焦点深度（构造）
高分辨率
人工智能
物理
工程类
无线
激光器
电信
机械工程
操作系统
遥感
俯冲
波长
地质学
构造学
古生物学
生物
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10.1117/12.2600951
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