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标题
About determining reliable etching rates and the role of temperature in kinetic experiments on acidic wet chemical etching of silicon
网址
https://doi.org/10.1039/d2cp05837e
DOI
10.1039/d2cp05837e doi
其它 期刊：Physical Chemistry Chemical Physics
作者：Anja Rietig; Thomas Langner; J. Acker
出版日期：2023-01-01
求助人
carrym 在 2026-08-28 17:25:05 发布自浙江，悬赏 10 积分
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