Atomic layer etching of SiO2 with self-limiting behavior on the surface modification step using sequential exposure of HF and NH3

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标题	Atomic layer etching of SiO2 with self-limiting behavior on the surface modification step using sequential exposure of HF and NH3
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001517
DOI	10.1116/6.0001517 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Nobuya Miyoshi; Hiroyuki Kobayashi; Kazunori Shinoda; Masaru Kurihara; Kohei Kawamura; et al 出版日期：2021-12-20
求助人	申小白在 2026-07-07 17:50:38 发布自江苏，悬赏 10 积分
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