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标题
Generalized method for optimizing impedance matching in capacitively coupled plasmas
电容耦合等离子体阻抗匹配优化的广义方法
相关领域
容性耦合等离子体 材料科学 等离子体 阻抗匹配 电阻抗 匹配（统计） 光电子学 原子物理学 感应耦合等离子体 电气工程 物理 核物理学 工程类 数学 统计
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004630
DOI
10.1116/6.0004630 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Dehen Cao; Shimin Yu; Hongyu Wang; Zhipeng Chen; Wei Jiang; et al
出版日期：2025-06-11
求助人
安好 在 2025-08-04 16:26:07 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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