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标题
WET Organic Impurities induced Carbon Contamination on Surface/Sub-surface of Silicon : CFM: Contamination Free Manufacturing
硅表面/次表面上的湿有机杂质诱导的碳污染：CFM：无污染制造
相关领域
苯 硅 杂质 分析化学（期刊） 化学 核化学 色谱法 有机化学
网址
https://doi.org/10.1109/asmc57536.2023.10121102
DOI
10.1109/asmc57536.2023.10121102 doi
其它 期刊：
作者：Wan Tatt Wai
出版日期：2023-05-01
求助人
王鑫 在 2025-08-03 03:16:42 发布自江苏，悬赏 10 积分
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