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  On-Wafer Temperature Monitoring Sensor for Condition Monitoring of Repaired Electrostatic Chuck 用于修复后的静电卡盘状态监测的晶片上温度监测传感器
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期刊：Electronics 作者：Jaehwan Kim; Yoonsung Koo; Wansoo Song; Sang Jeen Hong 出版日期：2022-03-10 |
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