Comparative study on MnO2, Mn2O3, and Mn3O4: Enhancing chemical-mechanical polishing properties of 4H-SiC silicon wafers

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标题	Comparative study on MnO2, Mn2O3, and Mn3O4: Enhancing chemical-mechanical polishing properties of 4H-SiC silicon wafers
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109359
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109359 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Dexing Cui; Baoguo Zhang; Wenhao Xian; Min Liu; Shitong Liu; et al 出版日期：2025-02-12
求助人	龙哥在 2026-07-16 16:00:53 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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