Megasonic agitation for enhanced electrodeposition of copper

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标题	Megasonic agitation for enhanced electrodeposition of copper
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-009-0886-2
DOI	10.1007/s00542-009-0886-2 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems 作者：Jens Georg Kaufmann; Marc P. Y. Desmulliez; Yingtao Tian; Dennis Price; Mike Hughes; et al 出版日期：2009-05-31
求助人	yjy 在 2026-07-15 20:45:20 发布自上海，悬赏 10 积分
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