Chemistry-dependent and source power-mediated spatial redistribution of ACL necking in low-pressure fluorocarbon plasma etching of high-aspect-ratio SiO2

已完结

文献求助详情

标题	Chemistry-dependent and source power-mediated spatial redistribution of ACL necking in low-pressure fluorocarbon plasma etching of high-aspect-ratio SiO2
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aea16d
DOI	10.1088/1361-6463/aea16d doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Jiachen Wei; Chen Yang; Kwang-Ho Kwon 出版日期：2026-09-02
求助人	StevenZhao 在 2026-09-11 07:56:30 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 雪潇发布了新的文献求助10

刚刚; 陈海伦发布了新的文献求助10

刚刚; 英勇的若灵完成签到，获得积分10

刚刚; 王一一完成签到，获得积分10

1秒前; kinji发布了新的文献求助10

1秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

1秒前; lailai上传了应助文件

1秒前; 盛开吧发布了新的文献求助10

2秒前; zxw关闭了zxw的文献求助

2秒前; 老实幻姬发布了新的文献求助10

2秒前; 在水一方上传了应助文件

2秒前; 你好呀发布了新的文献求助10

3秒前; MADKAI发布了新的文献求助10

3秒前; emerald发布了新的文献求助10

4秒前; 深情安青的应助被小二采纳，获得10

4秒前; 香蕉觅云的应助被蓝胖子采纳，获得10

5秒前; zywii完成签到，获得积分10

5秒前; 恶毒的吸血鬼的应助被春风得意采纳，获得10

6秒前; 李健的应助被lili采纳，获得10

6秒前; HH发布了新的文献求助10

7秒前; 李健的小迷弟的应助被真叫人头大采纳，获得10

7秒前; 追寻沛蓝发布了新的文献求助10

7秒前; 跳跃雨竹关注了科研通微信公众号

7秒前; 门解勒夫完成签到，获得积分20

8秒前; 无花果上传了应助文件

8秒前; CodeCraft上传了应助文件

8秒前; Akim上传了应助文件

8秒前; Nole上传了应助文件

9秒前; 思源的应助被szp采纳，获得10

9秒前; 领导范儿的应助被Bazinga采纳，获得10

9秒前; 芋泥泥泥完成签到，获得积分10

10秒前; 可爱的函函的应助被ding采纳，获得10

10秒前; susu完成签到，获得积分10

10秒前; Yuuuan完成签到，获得积分10

10秒前; 英姑的应助被不倦采纳，获得10

11秒前; wmumu完成签到，获得积分10

11秒前; 爆米花上传了应助文件

11秒前; 思源上传了应助文件

11秒前; molihuakai的应助被LQ采纳，获得10

12秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

12秒前