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Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system
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DOI
10.1016/j.optcom.2018.10.042 doi
其它 期刊:Optics Communications
作者:Qian-Kun Li; Yao Xiao; Hua Liu; Hao-Lin Zhang; Jia Xu; et al
出版日期:2018-10-26
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li 在 2026-08-31 11:08:19 发布自山东,悬赏 10 积分
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