Development and application of actinic evaluation platform on comprehensive optical properties of EUV pellicle at Pohang Accelerator Laboratory - 科研通

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标题	Development and application of actinic evaluation platform on comprehensive optical properties of EUV pellicle at Pohang Accelerator Laboratory
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090024
DOI	10.1117/12.3090024 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者：Geonhwa Kim; Jiho Kim; Namhyun Kim; Hyuk Jin Kim; Byeong-Gyu Park; et al 出版日期：2026-02-26
求助人	健忘的从灵在 2026-06-23 11:20:06 发布自广东，悬赏 20 积分
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