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标题
[高分] Plasma depostion of BN, BCN:H and Me-BCN:H films using N-trimethylborazine (Me = Ti, Nb)
相关领域
材料科学 等离子体 结晶学 化学 物理 核物理学
网址
https://doi.org/10.1051/jp3:1992184
DOI
10.1051/jp3:1992184 doi
其它 期刊：Journal de Physique III
作者：A. Weber; U. Bringmann; C.‐P. Klages; K. Taube; G. Döllein; et al
出版日期：1992-08-01
求助人
愉快的安珊 在 2025-10-28 18:55:39 发布自青海，悬赏 50 积分
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