Chemical etching of InP assisted by graphene oxide

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标题	Chemical etching of InP assisted by graphene oxide 氧化石墨烯辅助化学刻蚀InP 相关领域蚀刻（微加工）石墨烯氧化物 X射线光电子能谱材料科学纳米技术各向同性腐蚀催化作用图层（电子）干法蚀刻反应离子刻蚀碳纤维制作化学工程无机化学化学复合材料冶金有机化学复合数病理工程类替代医学医学
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/acc03a AI链接 iop.orgdoi.org
DOI	10.35848/1347-4065/acc03a doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Wataru Kubota; Toru Utsunomiya; Takashi Ichii; Hiroyuki Sugimura 出版日期：2023-03-01
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