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标题
Implementation of high-performance and high-yield nanoscale hafnium zirconium oxide based ferroelectric tunnel junction devices on 300 mm wafer platform
在300 mm晶圆平台上实现高性能和高产率纳米级铪锆氧化物基铁电隧道结器件
相关领域
材料科学 铁电性 锡 光电子学 量子隧道 工作职能 锆 隧道枢纽 原子层沉积 薄膜 纳米技术 电介质 图层（电子） 冶金
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002097
DOI
10.1116/6.0002097 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Maximilian Liehr; Jubin Hazra; Karsten Beckmann; Vineetha Mukundan; I. Alexandrou; et al
出版日期：2023-01-01
求助人
我就是我Andre 在 2025-08-04 22:23:40 发布，悬赏 10 积分
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