Understanding into the microstructure and diffusion behaviors of water removal in nanopores of wafer by supercritical carbon dioxide: Experiment and molecular dynamics simulation

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标题	Understanding into the microstructure and diffusion behaviors of water removal in nanopores of wafer by supercritical carbon dioxide: Experiment and molecular dynamics simulation 超临界二氧化碳去除晶片纳米孔中水分的微观结构和扩散行为：实验和分子动力学模拟
网址	https://doi.org/10.1016/j.supflu.2025.106791
DOI	10.1016/j.supflu.2025.106791 doi
其它	期刊：The Journal of Supercritical Fluids 作者：Xinyu Zhuo; Weizhong Zheng; Yisheng Xu; Weizhen Sun; Ling Zhao 出版日期：2026
求助人	笨笨芯在 2025-10-27 08:21:01 发布自河南，悬赏 10 积分
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