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Fabrication and transfer printing based integration of free-standing GaN membrane micro-lenses onto semiconductor chips 基于转移印刷的独立GaN膜微透镜在半导体芯片上的制造和集成
相关领域
材料科学
薄脆饼
光电子学
钻石
制作
蚀刻(微加工)
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光学
半导体
转印
基质(水族馆)
表面粗糙度
干法蚀刻
纳米技术
图层(电子)
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医学
替代医学
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期刊:Optical Materials Express 作者:Nils Wessling; Saptarsi Ghosh; Benoit Guilhabert; Menno Kappers; Alexander Hinz; et al 出版日期:2022-11-08 |
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