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(Invited) Factors Impacting Threshold Voltage in Advanced CMOS Integration: Gate Last (FINFET) vs. Gate First (FDSOI) 相关领域
金属浇口
节点(物理)
CMOS芯片
微电子
绝缘体上的硅
电子工程
阈值电压
电气工程
栅极电压
工程类
缩放比例
电压
计算机科学
光电子学
材料科学
晶体管
栅氧化层
硅
数学
结构工程
几何学
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期刊:ECS Transactions 作者:Dina H. Triyoso; Rick Carter; J. Kluth; S. Luning; Amy Child; et al 出版日期:2015-09-08 |
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