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标题
Toward the 5nm technology: layout optimization and performance benchmark for logic/SRAMs using lateral and vertical GAA FETs
迈向5nm技术：使用横向和垂直GAA FET的逻辑/SRAM的布局优化和性能基准
相关领域
计算机科学 水准点（测量） 逻辑门 随机存取存储器 材料科学 光电子学 计算机体系结构 电子工程 纳米技术 计算机硬件 算法 大地测量学 地理 工程类
网址
https://biblio.vub.ac.be/vubir/toward-the-5nm-technology-lay...
AI链接 ac.bedoi.org
DOI
10.1117/12.2218361 doi
求助人
SC 在 2026-01-02 16:47:16 发布自上海，悬赏 20 积分
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